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影响激光干涉仪测量精度的主要因素

浏览次数: 发布日期:2018-11-19 来源:www.shcmm.com
       影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下:
       1)激光频率稳定性 在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。
       2)大气折射率
       3)死程误差 在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
       4)余弦误差 在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。
       5)脉冲当量误差 激光干涉仪显示的较小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
       6)细分误差 在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
       7)阿贝误差 为避免阿贝误差,需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上,否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。

       在三坐标测量机的定位误差测量中,通常选用商品激光干涉仪。频率稳定性、细分误差由激光干涉仪性能决定。在调整、测量中要注意减小大气折射率、死程误差、余弦误差、脉冲当量、阿贝误差等带来的影响。

      上海欧潼精密设备有限公司为客户提供三坐标测量服务、三坐标检测服务、三坐标维修服务等,并提供桥式三坐标测量仪、高精度三坐标测量仪、三坐标划线机、便携式三坐标、大型三坐标、逆向检测等一系列三坐标产品。

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